SPRAY COATER
スプレーコーター

唯一無二のスプレー技術

当社は、数ナノから数ミクロンという超薄膜〜薄膜領域における精密スプレーコーティング技術を
長年研究開発し、他社にない独自の流量制御技術、噴霧技術をコアに、従来のスプレーコーターでは
実現出来ないレベルの高精度塗布・成膜を得意としております。

  1. 01

    他社にない
    独自の流量制御技術

  2. 02

    従来の機器では難しい
    レベルの高精度塗布

  3. 03

    お客様の材料を持ち込み
    塗布実験が可能

スプレー機器・技術紹介

TECHNOLOGY 01 独自に開発した
流量制御技術 DLCS™

DLCS™(Digital Liquid Control System)
吐出精度0.1−1.0%を実現するモノリシックスプレーヘッド。
オリジナル2流体ノズル、サブタンク、フィルターなどが一体となり、
脈動がおこらず安定した吐出が可能です。

TECHNOLOGY 02 コーティング制御技術™

長年のスプレー塗布プロセスノウハウを基に設計されたスプレー塗布制御技術を生かし、塗布パラメーターの設定、ノズル洗浄、重ね塗り、塗布状態の監視システムなど、あらゆるシステムの制御を12インチタッチパネル上で操作する事が出来ます。
また、温湿度から塗布条件、動作時の装置状態などをログデータとして記録することで、量産管理へのフィードバックが可能となっています。
塗布条件からコーティング後の膜厚の理論値を表記可能となっています。

STANDARD MODEL スタンダードモデルAPI-240

タッチパネルの指紋防止コーティング、AG/ARコーティング、燃料電池用電極塗布など、従来のコーティングプロセス(スリットダイ、ロールコーター、スピンコーターなど)それぞれの固有の課題を解決することで、量産工程での採用が拡大しています。

スプレーコーター機器紹介

  • API-40RS

    独自開発のスプレーヘッドMini-DLCS™ を採用した小型スプレーコーターです。
    Mini-DLCS™の最大の特徴は、市販のプラスチック製シリンジを使うことで、
    手返し良く様々な材料を交換して試験ができることです。
    最大200×200(mm)までのコーティングができます。
    もちろん当社が誇る抜群の流量再現性はDLCS™と同レベルなので、均一性の高い成膜が可能です。
    自動供給に対応した、モデルもあります。

  • API-90RS

    API-90RSは、40RSの拡大モデルです。
    最大300×300(mm)までのコーティングができます。

  • API-240

    API-240は、当社技術を結集した高精度スプレーヘッドDLCS™を搭載しています。
    最大600×400 (mm)までのコーティングが可能で、ヘッドスピードは1,000mm/sec、
    スマートフォンサイズの基板であれば、用途によっては月産100万個程度の高い生産性を誇ります。

  • API-240Z

    API-240に自動のZ軸を、追加したモデルです。

  • API-240-3D

    API-240の上位機種であるAPI-240-3Dは、通常X/Y2軸の平面スキャン動作によるスプレーコーティングの常識を覆すX/Y/Zの3軸同時制御を搭載した3Dコーティングスプレーコーターです。お客様の基板がレンズなどの球面、非球面の場合に、R値を設定することで自動的に2.5D(かまぼこ状)や3D(球面)の軌跡を描きながらコーティングします。

  • API-240-3DS

    3Dスキャン機能を搭載した、240シリーズ最上位機種です。レーザースキャンで
    基材のX/Y/Z座標を取得し、その形状に合わせてコーティングが可能です。

  • API-300シリーズ

    最大550×650 (mm)までのコーティングが可能で、基板の搬送はロボット、コンベアなどと連携し、全自動でコーティングする量産用スプレーコーターです。 ライン上の前後装置と連結することから、前後装置とのデータ通信、ダウンタイム時のトラブル回避機能(洗浄タイマー設定など)、各種エラーメッセージ、インターロックなど、あらゆる事態を想定したハードウェア、ソフトウェアを搭載し、お客様の安定した連続生産に貢献いたします。

令和2年度第3次補正 事業再構築補助金により作成

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